Cov Ntawv Qhia Tawm Tawm Ua Cov Khoom Sib Txawv Ua cov khoom sib kis hauv cov cuab yeej precision xws li cov cuab yeej CNC tshuab thiab cov kab ntau lawm. Lawv txoj kev sib npaug raug cai ncaj qha rau cov khoom siv txoj hauj lwm precision, kev ua haujlwm smoothness, thiab lub neej pabcuam.
Piv txwv li, nyob rau hauv semiconductor photolitography machine, txoj kev ncaj ncaj ntawm cov lus qhia yuav tsum tau tswj tsis pub dhau 0.1μm. Yog tsis ua li ntawd yuav ua rau kev ua tsis yog nyob hauv lub Chip kis tus qauv. Thaum lub sij hawm precision machinion machising machising machision
Yog li ntawd, txoj kev ntsuas thiab cov kev ntsuas ruaj nraus yog ib kauj ruam tseem ceeb nyob rau hauv kev ua kom tau cov kev coj ua ntawm cov kev qhia ntawm cov kev qhia.
Kev Ntsuas Cov Cuab Yeej Yuav Tsum Tau Rau Kab Tawm Kev Ntxaij Taw Qhia Qhov Ntev
(I) ntsuas ntsuas ntsuas ntsuas ntsuas
Vernier caliper
Vernier Calipers tau faib ua peb qib precision rau ntawm peb qib: 0.02 hli, 0.05mm, thiab 0.1mm, nrog rau 0.02mm tau siv ntau tshaj plaws. Thaum ntsuas qhov dav dav, sab nraud ntsuas lub puab tsaig yuav tsum tau hu rau ob sab ntawm txoj kev tsheb ciav hlau thaum muaj kev sib tw sib tw. Rau kev ntsuas qhov taub ntawm Slider Mounting qhov, nqa ntau yam kev ntsuas ntawm cov kev sib tw sib txawv thiab qhov nruab nrab cov txiaj ntsig kom tsis txhob muaj ovality. Ib qho kev ntsuas tshuab txhua hnub ntsuas kev ua haujlwm txheej txheem, tu cov ntsuas ntsuas ntsuas thiab Vernier nplai yog qhov yuav tsum tau ua ntej ntsuas.
Micrometer
Cov micrometed sab nraud yog feem ntau siv rau kev ntsuas pob pob diameters, thaum sab hauv micrometers kev tsheb zawg zoo rail zawg Groove Surnection. Thaum ntsuas cov pob diamond, maj mam hu rau lub pob saum npoo nrog lub micrometer anvils thiab thov ib qho ntsuas ntsuas hluav taws xob tas li ntawm 5-10n siv lub tshuab ratchet. Raws li kev tsim kho tshuab, Micrometers ua tiav 0.001MM precision tab sis yuav tsum muaj xoom calibration ua ntej siv thiab kev zam ntawm cov kev hloov pauv thermal los ntawm kev ntsuas kub thaum ntsuas.
(II) cov ntsuas ntsuas ntsuas ntsuas ntsuas ntsuas ntsuas ntsuas
Dial Qhov Ntsuas thiab Dial Test Qhov Ntsuas
Txhim kho tus xov tooj ntsuas tau mus rau tus ciav hlau uas siv lub hauv paus sib nqus. Txav mus rau lub vias uniformly raws tag nrho cov tsheb nqaj ntev; Ncaj ncaj yuam kev txiav txim los ntawm rab koob tiv thaiv no. Piv txwv li, ib qho koob hmoov 0.02Mm koob txhaj tshaj qhov ua kom ntev rau 1m - rail, yuav tsum muaj kev ntsuas. Kev Tshawb Nrhiav ntawm Tshuab Tool Daim Ntawv Qhia Cov Ntawv Qhia Kev Tshawb Xyuas Qhov tseeb Kev soj ntsuam xyuas qhov tseeb tias 1-24m Preload yuav tsum tau siv rau lub taub hau ntsuas kom tshem tawm backlash cov teebmeem.
Laser Interferometer
Qhov ntsuas no ua rau kev cuam tshuam fringes nruab nrab ntawm lub nqaj laser thiab cov tsom iav. Ncaj sib txawv hloov cov fringe theem, ua kom cov kev sib cais tsis siv neeg los ntawm qhov yuam kev. For semiconductor equipment guide rails, resolutions reach 0.1μm, allowing full-length micron-level precision. Piv txwv li, lub photolithography cov kab ntau lawm siv renishaw XL-80 laser cuam tshuam tswj kev tsheb ciav hlau tsis pub dhau 0.3μm / m.
(III) Cov qauv qauv tshwj xeeb ntsuas cov cuab yeej ntsuas
Xov Tagqauj
Soj ntsuam cov tsheb ciav hlau mounting lub xov yuav tsum muaj kev sib txuam mus thiab tsis muaj - mus gauges. Txoj kev yuav tsum tau yuav tsum dawb ntsia hlau tawm los ntawm lub qhov threaded, thaum tsis muaj qhov ntsuas yuav tsum tsis txhob koom nrog ob txoj xov no Ib lub tshuab tsim phau ntawv qhia, lub suab diamunance thaj chaw rau m6 × 1.0 xov yog ± 0.05 hli, nws yuav tsum muaj kev paub tseeb ntawm ntau yam kev paub.
FeelSer Gauge
Kev ntsuas kev tshem tawm ntawm txoj kev tsheb ciav hlau thiab mounting hauv paus yuav tsum tau muaj lub ntsej muag ntsuas teeb nrog 0.01 hli thickness nce. Ntxig gauges rau hauv qhov sib txawv; Qhov ntsuas tus nqi yog lub ntsuas cua sov tom ntej uas tsis tuaj yeem tso. Automotive cov kab ntau lawm kev muab cov kab ua pov thawj tshaj 0.05mm nce kev cai kev cai los ntawm 30%, cov khoom siv tsis yooj yim.
Ntsuas Qhov Ntsuas Ntsuas Cov Lus Qhia Tawm Tsam ntawm Lutear Qhia Rail
(I) Kev ntsuas ntev ntev ntsuas
Daim Kab Xev Ntsuas Txuj Ci
Rau cov ntsia hauv 3m, siv cov ntawv 5m ntsuas li cas. Ob tus neeg ua haujlwm yuav tsum khaws daim kab xev sib txuas rau kab kev tsheb ciav hlau thiab tiv thaiv kom nruj nro deformation. Thaum ntsuas kev ntsuas 2m, nqa kev nyeem ntawm ob qho kawg thiab nruab nrab, tom qab ntawd cov txiaj ntsig. Sing - ntsuas yuam kev yuav tsum tau tswj yuam kev hauv ± 0.5mm.
Laser nrug deb me ntsis
Rau cov ntsia ntev ntev, cov ntsuas ntu ntsuas: ntsuas tsawg dua lossis sib npaug rau 5m ntu nrog 100mm overlaps ntawm ntu uas nyob hauv ntu. Superimpose cov ntaub ntawv teeb tsa rau tag nrho cov kev ntsuas ntev. Rau 10 tus kab ntawv kev tsuj hluav taws, faib peb ntu nrog kev txom nyem uas raug mob (11μm /℃coeffient). Kawg qhov tseeb tau ua tiav ± 1mm.
(II) Raceway Groove Radius Ntsuas
Siv profilomometers rau tsis -}}}} Contact Scanning thaum 10mm / s nrog 0.01mm piv txwv sib nrug. Kev Tshawb Fawb los ntawm Rolling Bearing Lub Koom Haum Qhia Txog Cov Hnab Groove Radii Muaj Vaj Huam Sib Luag (piv txwv li, 6.3mm vojvoog rau 6 hli pob). Kev ntsuas tsis pub yuav tsum yog li ntawm ± 0.02mm.
(Iii) Slider Mounting Qhov Chaw Zam Txim
Kev ntsuas kev ntsuas ntawm kev txhim kho tshuab ntsuas (CMM) hauv qab kev tswj hwm ib puag ncig (20 ± 2 degree). Ruaj rau cov swb rau lub rooj, tsim lub qhov datum raws li kev sib koom tes hauv paus chiv keeb, tom qab ntsuas kev ntsuas seem. Lub qhov txav nres kev ua siab ntev: ± 0.05mm; kab pheeb ces kaum: tsawg dua los yog sib npaug ± 0.1mm. Ib qho chaw tsim khoom siv precision tshuab Tool
(Iv) kev ntsuas kev sib tw
Laj-- Tus Txawj Ntse Gauge Txoj Kev
Xaiv lub ntsiab 200mm ntev dua li kev tsheb nqaj hlau. Nias nws khov kho tiv thaiv kab kev tsheb nqaj hlau thiab ntsuas qhov siab tshaj plaws nrog kev ntsuas kev xav. Rau kev ntsuas tsheb ciav hlau 2m siv 2.5m Kev ntsuas dav dav, kev ncaj yog tso tseg yog tias gauge ntxig ntau tshaj li 150 hli qhov tob, uas yuav tsum tau sib tsoo kev sib tsoo.
Laser Interferometer Txuj Ci
Txoj hauj lwm siv thiab txav iav 1 m sib nrug. Sau cov ntaub ntawv los ntawm traversing lub iav txav raws kev tsheb nqaj hlau. Ib Laser cuam tshuam kev thov kev tshawb xyuas daim ntawv qhia, ncaj yuam kev yuav tsum tsawg dua lossis sib npaug rau 0.4μm / m. Tshaj li no qhov pib tsim nyog txhais tes scraping lossis cap.
Kev ntsuas kev ntsuas qhov tseeb rau cov kev qhia tawm
(Kuv) tswj ib puag ncig
Tswj Qhov Kub
Lub thermal expansion coefficient cov ntaub ntawv yog kwv yees 11 × 10⁻⁶ / degree, ua rau 11μm ntev hloov ib qib rau 1m rail. Kev ntsuas yuav tsum yog li tshwm sim hauv 20 ± 2℃tas li {{}} huab cua ib puag ncig. Rau siab - precision kev ntsuas, siv ib qho kub -}} tswj chamberurring unteriting hloov pauv rau ± 0.5 degree.
Kev co tswj
Tso cov roj hmab damping mats hauv qhov ntsuas ntawm cov chaw ntsuas thiab cov cuab yeej ua kom muaj txiaj ntsig rau Granite cov phiaj av. Cov ntaub ntawv los ntawm precision ntsuas kev co txoj kev txwv kev cai ntawm laser cuam tshuam ntawm 0.3μm rau 0.35μm rau 0.35μm ntxiv rau kev ua haujlwm kom ntub dej.
(II) cov qauv haujlwm
Ua ntej - kev npaj npaj
Huv kom huv si ntug ciav hlau nrog cov ethanhol kom tshem tawm cov roj thiab hlau khib nyiab. Thaum ntsuas vernier calipers, tag nrho ua li lub ntsiab thiab vernier nplai ntawm xoom. Dial qhia tau tias yuav tsum tau 1/3 tag nrho {4 4}} Cov thawv Preload kom tshem tawm cov iav Backlash.
Kev Ntsuas Ua Haujlwm
Saib xyuas cov cuab yeej txav ceev ntawm 5-10mm / s tsis muaj kev nres sai. Rau laser cuam tshuam, preheat rau 30 feeb kom txog thaum ruaj khov, kho txoj kev kho qhov muag ntau dua 80%.
(III) Cov ntaub ntawv ua haujlwm
Kev ntsuas ntsuas ntau yam
Coj ntau dua los yog sib npaug rau 3 kev ntsuas ib qho dimension. Xam cov qauv sib txawv siv bessel tus qauv:
σ=σi σ ...=1 n (xi-x ~) 2n-1σ=n−1∑i=1n(xi−x)2
Kev lees paub yog tias qauv sib txawv ntau dua ib -}}}}} ntawm qhov ua yuam kev.
Cov ntaub ntawv haum thiab kev them yuam kev
Rau cov ntaub ntawv ncaj, tsim kab siv siv los ntawm tsawg kawg yog - squares haum los laij rau txhua kis. Ib tus qauv GB / T 1958-2017, siv kev them nyiaj rau cnc yuam kom txhawb kev tsheb ciav hlau tsim kho cov qauv tsim qauv.,
Kev ntsuas qhov ntsuas ntawm kab ntawv tawm ntawm cov kab lus qhia yog qhov ua haujlwm tseem ceeb rau kev ua haujlwm siab tshaj plaws ntawm cov khoom siv khoom. Los ntawm kev xaiv kom tsim nyog ntawm cov twj paj nruag, qauv ua tiav kev tswj hwm, thiab kev sib xyaw ua ke qhov tseeb tuaj yeem ua tau zoo.
Raws li cov kev tsim qauv ntse txuas ntxiv mus ntxiv cov kev cai them rov qab rau cov cuab yeej siv, yav tom ntej ntsuas thev naus laus zis yuav hloov zuj zus mus rau qhov tsis yog {{}} Qhov no suav nrog kev tu tshuab tshuab siv lub tshuab ua kom muaj kev me me thiab {- powered yuam kev them nyiaj algorithms, ntxiv tsav tsheb tshiab hauv kev txhim kho tshuab hauv kev txhim kho tshuab.
